You are here: Home -  Pjs Jassen Sale zijn zeer belangrijke parameters die zorgvuldig

Pjs Jassen Sale zijn zeer belangrijke parameters die zorgvuldig

Pjs Jassen Sale

Chemisch mechanisch polijsten (CMP) is algemeen aanvaard voor de metallisatie van koper interconnectie in ultra-grootschalige geïntegreerde schakelingen Parajumpers Verkooppunten Nederland (ULSIs) productie. Het is belangrijk om het effect van de procesvariabelen begrijpen zoals draaitafelsnelheid, hoofd snelheid neerwaartse druk en tegendruk Pjs Jassen Sale op koper CMP. Ze zijn zeer belangrijke parameters die zorgvuldig moeten worden geformuleerd voor het bereiken van de gewenste verwijdering prijzen en ongelijkmatigheid. Met een ontwerp van het experiment (DOE) benadering werd deze studie uitgevoerd onderzoek naar de interactie-effect tussen de verschillende parameters en het hoofdeffect van elke parameter in koper CMP. Een beter begrip van de interactie gedrag tussen de verschillende parameters en het effect op de afname, niet-uniformiteit en ETC (rand tot midden) wordt bereikt door het gebruik van de statistische analysetechnieken. In de experimentele testen, kon de geoptimaliseerde parameters combinatie voor koper CMP die werden afgeleid van de statistische analyse worden gevonden voor het hoger afnamevermogen en lagere niet-uniformiteit door de bovenstaande DOE resultaten.
0 Reacties


Spreek uw mening